新華社長沙5月7日電(記者謝櫻、蘇曉洲)記者7日從湖南大年夜學獲悉。
劉淵教授團隊應用范德華金屬集成法。
成功展示了超短溝道垂直場效應晶體管。
其有效溝道長度最短可小于1納米。這項“微不雅天下”的立異。
為“后摩爾期間”半導體器件機能提升增加了盼望。日前。
這一鉆研成果已頒發(fā)在《自然·電子學》上。
從21世紀初開始。
商用謀略機的主頻便故步自封。
相關“摩爾定律”已貼近親近極限——伴隨電子器件縮小。
溝道長度也縮短到十納米級別。
短溝道效應加倍顯明。若何制造出更優(yōu)機能與更低功耗的電子器件。
成為“后摩爾期間”舉世半導體領域關注的焦點之一。
記者從湖南大年夜學物理與微電子科學學院懂得到。
垂直晶體管具有天然的短溝道特點。
其研發(fā)有望作為一種全新的器件微縮偏向。如能經(jīng)由過程進一步鉆研將真正的溝道物理長度縮小至10納米以致5納米以下。
未來將可能不再依附傳統(tǒng)的高精度光刻技巧和刻蝕技巧。
劉淵教授團隊采納低能量的范德華電極集成要領。
實現(xiàn)了以二硫化鉬作為半導體溝道的薄層以致單原子層的短溝道垂直器件。他們將預制備的金屬電極物理層壓到二硫化鉬溝道的頂部。
保留了二維半導體的晶格布局及其固有特點。
形成抱負的范德華金屬—半導體界面。經(jīng)由過程對垂直器件進行微縮。
垂直晶體管的開關比機能提升了兩個數(shù)量級。
據(jù)懂得。
這種措施還可以運用到其他層狀半導體作為溝道的器件上。
均實現(xiàn)了小于3納米厚度的垂直場效應晶體管。
證清楚明了范德華電極集成對付垂直器件微縮的普適性。這項鉆研有望為制造出擁有超高機能的亞3納米級其余晶體管。
以及制備其他因工藝水平限定而呈現(xiàn)不完美界面的范德華異質結器件。
為提升芯片機能供給了一種全新的低能耗辦理規(guī)劃。
該論文第一作者為湖南大年夜學物理與微電子科學學院博士生劉麗婷。
劉淵教授為通訊作者。